Описание
Программа профессионального обучения «Оператор прецизионной фотолитографии»
Цель программы
Подготовить квалифицированных операторов прецизионной фотолитографии, способных выполнять технологические операции фотолитографического процесса в производстве микроэлектронных компонентов (микросхем, полупроводниковых приборов и т. п.) в соответствии с отраслевыми стандартами и требованиями качества.
Задачи программы
1. Освоить теоретические основы фотолитографического процесса и его место в технологическом цикле микроэлектроники.
2. Изучить устройство, принципы работы и правила эксплуатации оборудования для прецизионной фотолитографии.
3. Овладеть приемами подготовки и проведения всех этапов фотолитографии (нанесение фоторезиста, экспонирование, проявление, травление, удаление фоторезиста).
4. Научиться контролировать параметры процесса и качество получаемых структур с использованием измерительного оборудования.
5. Освоить правила техники безопасности, промышленной санитарии и экологической безопасности при работе с химическими реагентами и оборудованием.
6. Сформировать навыки документирования технологических операций и анализа причин брака.
7. Приобрести практический опыт работы в «чистых помещениях» с соблюдением требований к микроклимату и чистоте.
Знания, которые получит обучающийся
— Физико-химические основы процесса фотолитографии: свойства фоторезистов, механизмы экспонирования и проявления.
— Технологическая последовательность операций прецизионной фотолитографии и их назначение.
— Устройство и принцип работы установок нанесения фоторезиста, экспонирующих машин (степперов, сканеров), проявителей, установок травления и очистки.
— Основные параметры процесса (толщина фоторезиста, доза экспонирования, время проявления и т. д.) и их влияние на результат.
— Методы контроля качества литографических структур (оптическая микроскопия, профилометрия, эллипсометрия и др.).
— Требования к «чистым помещениям» (классы чистоты, контроль частиц, температурно-влажностный режим).
— Правила работы с химическими реагентами (фоторезисты, проявители, травители, растворители), меры безопасности и утилизации отходов.
— Нормативная документация: технологические инструкции, стандарты качества, правила ОТ и ПБ.
— Типичные дефекты фотолитографии и способы их предупреждения/устранения.